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深圳市研发补贴 深圳创业补贴 深圳各区研发补贴 深圳技术改造补贴 各区技术改造补贴 受影响企业补贴 规模以上企业奖励 众创空间认定 孵化器认定 首套软件补贴 工业设计成果转化 守合同重信用企业 广东省工程技术研究中心